تاثیر مدت زمان بازپخت بر روی ویژگی های فیزیکی لایه های نازک نانوساختار TiWN تهیه شده به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی

سال انتشار: 1400
محل انتشار: دومین همایش بین المللی علوم و فناوری نانو دانشگاه تهران
کد COI اختصاصی: ICNNA02_273
زبان مقاله: فارسی
تعداد مشاهده: 378

دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

سارا ضرابی حسینی

دانشجوی کارشناسی ارشد فیزیک ماده چگال، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز

حسن بیدادی

استاد گروه فیزیک حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز

رضا جلالی

دکتری فیزیک حالت جامد، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز

حمید نقش آرا

استادیار گروه فیزیک حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز

چکیده

در این پژوهش، لایه های نازک TiWN روی زیرلایه هایی از جنس کوارتز در دمای اتاق با روش کندوپاش مگنترونی واکنشی دوگانه تحت شار sccm ۱/۳۱ ازگاز نیتروژن و دو توان تخلیه ی ۸۰ و ۱۰۰ وات برای هدف تنگستنی و توان تخلیه ثابت ۲۵۰ وات برای هدف تیتانیومی، نهشته شده و در نهایت در دمای ۵۰۰⁰C وات برای هدف تیتانیومی، نهشته شده و در نهایت در دمای ۲، ۴ و ۶ ساعت مورد بازپخت قرار گرفتند. لایه های تهیه شده توسط پراش پرتو X، میکروسکوپ الکترونی روبشی و دستگاه اسپکتروفتومتر در محدودهی طول موج nm ۲۰۰-۱۱۰۰ مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج نشان داد که با افزایش زمان بازپخت، میزان اکسیداسیون و نیتراسیون لایه ها افزایش یافته که در نتیجه آن گاف انرژی لایه ها افزایش یافته است. همچنین نتایج میکروسکوپ الکترونی روبشی نشان داد که اندازهی دانه ها با افزایش زمان بازپخت، بیشتر شده که با افزایش میزان طیف عبور لایه ها در تناسب می باشد

کلیدواژه ها

بازپخت، تیتانیوم تنگستن نیترید، کندوپاش مگنترونی، گاف انرژی، لایهی نازک

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.