ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

لایه نشانی اکسید سیلیکون با استفاده از پلاسمای فشار جو DBD

سال انتشار: 1400
کد COI مقاله: ECMCONF05_031
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 46
فایل این مقاله در 12 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 12 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله لایه نشانی اکسید سیلیکون با استفاده از پلاسمای فشار جو DBD

محمد جواد شریفی - دانشیار دانشگاه شهید بهشتی
حسین عظمتی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه شهید بهشتی

چکیده مقاله:

در طی یک دهه گذشته منابع پلاسمای فشار جو، بسیار مورد توجه بوده تا جایی که استفاده از آن به عنوان یک ابزار لازم در صنعت پزشکی، صنایع چوبی، صنایع نساجی و... در تمیز کردن سطح، استریل کردن و ایجاد لایه محافظتی مورد مطالعه قرار گرفته است. اخیرا کاربردهای ایجاد رسوب دی اکسید سیلیکون با پلاسما به طور گسترده ای بررسی شده است. در این پروژه یک سیستم برای لایه نشانی اکسید سیلیکون به کمک پلاسما در فشار جو (روش DBD به معنای تخلیه از درون سد دی الکتریک ) ساخته و تست شده است. برای تولید اکسید سیلیکون از TEOS استفاده شده است مزیت اصلی سیستم ساخته شده نسبت به سیستم هایی که در قبل وجود داشتند استفاده از پلاسمای DBD بوده است که باعث ارزانی، سهولت و کاهش وزن سیستم می شود. به کمک این سیستم لایه های مختلفی با ضخامت های مختلف که باعث ارزانی، سهولت و کاهش وزن سیستم می شود. به کمک این سیستم لایه های مختلفی با ضخامت های مختلف SEM و نیز روش خازنی و غیره تست شده است

کلیدواژه ها:

لایه نشانی دی اکسید سیلیکون، تترا اکسید سیلان، طراحی سیستم لایه نشانی ، پلاسمای تخلیه دی الکتریک DBD، منبع تغذیه ولتاژ بالا

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا ECMCONF05_031 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/1232044/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
شریفی، محمد جواد و عظمتی، حسین،1400،لایه نشانی اکسید سیلیکون با استفاده از پلاسمای فشار جو DBD،پنجمین کنفرانس بین المللی توسعه فناوری در مهندسی برق ایران،تهران،،،https://civilica.com/doc/1232044

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1400، شریفی، محمد جواد؛ حسین عظمتی)
برای بار دوم به بعد: (1400، شریفی؛ عظمتی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
نوع مرکز: دانشگاه دولتی
تعداد مقالات: 19,356
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مقالات مرتبط جدید

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

پشتیبانی