طراحی روش تولید مدار میکرواستریپ ازپلی ایمیدها

سال انتشار: 1400
محل انتشار: دوازدهمین کنفرانس ملی پژوهش های نوین در علوم و مهندسی شیمی
کد COI اختصاصی: CCES12_019
زبان مقاله: فارسی
تعداد مشاهده: 432

نویسندگان

ایران، سیرجان ،عضوهیات عملی دانشکده مهندسی شیمی، دانشگاه صنعتی سیرجان

ایران، سیرجان ، مهندسی شیمی ، دانشگاه صنعتی سیرجان

چکیده

دراین تحقیق به بررسی رفتار وابسته پلی ایمیدها برای ساخت میکرواستریپ وزیرساختارهای میکرو استریپ پرداخته شده است.به همین منظور کاربرد پلی ایمیدها و خواص آنها درساخت MEMS ارتباط بین ویژگی پلی ایمیدها و ریزساختارها مشخص شده است و توسعه فرآیند لیتوگرافی نوری و تکنولوژیهای تولید میکروساختارها برای دستگاه پلیمری مورد آزمایش قرار گرفته است. مشخص شدن مسیر نیاز است برای رسیدن به هدف که همان نتیجه مطلوب است. پس از طراحی مجموعه آزمایش ها مناسب و اجرا آنها این تحقیق دو نوع پوشش دهنده مثبت و منفی ارائه کرده است؛ که پوشش دهنده مثبت و منفی با استفاده ازدستگاه لیزری بادقت بالا در ابعاد ۱×۱به عنوان مقایس جهت اندازه گیریی مورد استفاده قرار گرفته است. درهر دونوع ماده - پوشش دهنده مثبت و منفی با تاثیر پارامترها سرعت دوران ، غلظت مایع و نوع ماده پوششدهی تاثیری در ضخامت لایه ایجاد شده ندارد. لذا باتوجه به فرآیند ساختار میکرواستریپ و با نمونه به کاربردشده درآزمایش چهت پیش بینی میزان و تعیین بهترین شرایط میکرو ساختارها و بررسی اثر پارامترها درفرآیندهای مختلف بر رفتار قبل از تولید و صرف هزنیه استفاده گردد. بنابراین پوشش دهنده مثبت شرایط مناسب و مطلوب را فراهم کرده است.

کلیدواژه ها

میکرواستریپ ، پلی ایمیدها، لیتوگرافی نوری، پوشش دهی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.