بررسی و مقایسه روشهای ساخت ترانزیستور تک الکترون
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: چهاردهمین کنفرانس دانشجویی مهندسی برق کشور
- کد COI اختصاصی: ISCEE14_050
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 3730
نویسندگان
چکیده
اخیراً، ترانزیستورهای تک الکترون، بدلیل حساسیت بالای خود به بار الکتریکی، مصرف پایین برق و چگالی بالای مجتمعسازی کاربردهای گستردهای پیدا کردند. یکی از اولین کاربردهایSET بصورت سنسور بار است که با دستگاههای میکروسکوپ قابل اندازهگیری می- باشد. این اندازهگیریها نیاز به حساسیت کافی برای تشخیص حرکت بار، به اندازه یک الکترون دارد. برای قابل اعتماد و تجدیدپذیر بودن چنین آزمایشاتی، فرایند ساخت بسیار مهم میباشد. در این مقاله، ما روشهای ساخت و برخی نتایج تجربی را بررسی و مقایسه مینماییم. هریک از روشهای بررسی شده مزایای منحصر بفرد خود را دارا میباشد که بسته به نیاز، فرایند مورد نظر انتخاب میگردد. برای مثال، روش تبخیر دو زاویهای، روشی خود تنظیم؛ روشEBL ساده، انعطافپذیر و قابل کنترل میباشد، روشFIB تونلزنی قوی و تولید یکنواخت در مقیاس نانو دارد PADOX خود تنظیم و ساده است. روشSTM که برای ساخت انواعSET میرود فرایند سریعی دارد و قطعه میتواند در دمای اتاق عمل کند. همچنین در روشAFM میتوان موقعیت و اندازه جزیره را کنترل نمود، روش نقطه کوانتومی، خود تنظیم و خود آرا است و روش دیوار کناری قابلیت مجتمعسازی و ساخت در اندازههای کوچک و چگالی بستهبندی بالا را دارد.کلیدواژه ها
.STM ،SET ،FIB ،EBL ،AFMمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.