لایه نشانی و ارزیابی خواص سایشی و پایداری شیمیایی لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر بستره های مسی

  • سال انتشار: 1399
  • محل انتشار: بیست و یکمین همایش ملی مهندسی سطح
  • کد COI اختصاصی: ISSE21_005
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 350
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

محمد جبلی مقدم

اصفهان، شاهین شهر، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (کارشناس ارشد مهندسی مواد)

اکبر اسحاقی

اصفهان، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (دانشیار)

مظاهر رمضانی

اصفهان، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (استادیار)

غلامرضا رحیمی

اصفهان، صنایع الکترواپتیک ایران

چکیده

در این تحقیق فیلم نازک کربن شبه الماسی (DLC) بر روی زیرلایه های مسی لایه نشانی شد. برای لایه نشانی ازروش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسمای حاصل از جریان مستقیم (DLC-PACVD) و مخلوطی ازگازهای اولیه پروپان ((۸)H۳C)، آرگون (Ar) استفاده شد. اندازه گیری ضخامت فیلم های لایه نشانی شده وبررسی مورفولوژی سطح با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) انجام شد. پارامترهای پایداری شیمیاییهمچون دانسیته جریان خوردگی با استفاده از آزمون های پلاریزاسیون و امپدانس الکتروشیمیایی تعیین گردید.سختی فیلم، لایه بافر و زیرلایه نیز توسط روش نانوسختی سنجی اندازه گیری شد. ساختار فیلم با استفاده از طیفسنجی رامان (Raman) بررسی گردید. برای بررسی چسبندگی پوشش از روش تست فرورونده راکول C طبقاستاندارد VDI۳۱۹۸ استفاده شد. بررسی ها نشان داد که با حضور فیلم کربن شبه الماسی میزان مقاومت بهخوردگی به طور چشم گیری افزایش یافت. لایه نشانی فیلم TiN به عنوان لایه بافر سبب چسبندگی فیلم کربنشبه الماسی به زیرلایه مس گردید.

کلیدواژه ها

کربن شبه الماسی، خوردگی، سختی، PECVD

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.