A New Method for Multilevel Lithography
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
تاریخ نمایه سازی: 15 اردیبهشت 1400
چکیده مقاله:
کلیدواژه ها:
نویسندگان
Computer and Electrical Engineering Department, College of Engineering, University of Tehran, Tehran, Iran
Research and Development Department – LAMA Electronic Company -Mashhad - Iran
Department of Biology, Faculty of Science, Islamic Azad University Mashhad Branch, Mashhad, Iran
Faculty of Electrical and Computer Engineering, Tarbiat Modares University, Tehran, Iran
Department of Mechanical Engineering, Shahid Beheshti University, Tehran, Iran
Department of Mechanical Engineering, K. N. Toosi University of Technology, Tehran, Iran