لایه‌نشانی و بررسی خواص لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر پنجره مادون-قرمز سیلیکونی
- سال انتشار: 1396
- محل انتشار: فصلنامه سرامیک ایران، دوره: 4، شماره: 52
- کد COI اختصاصی: JR_JICERS-4-52_004
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 209
نویسندگان
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
پنجرههای مادون قرمز به عنوان محافظ سامانههای الکترواپتیک در صنایع هوایی و فضایی مورد استفاده قرار میگیرند. با این حال این پنجرهها تحت تاثیر شرایط نامساعد محیطی قرار گرفته و در نتیجه عملکرد سامانههای الکترواپتیک نیز دچار اختلال میشود. اعمال پوششهای محافظ بر پنجرههای مادون قرمز باعث افزایش عملکرد این پنجرهها خواهد شد. در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از دو گاز هیدروژن و متان به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیویی(RF-PECVD) بر سطح پنجرههای مادونقرمز سیلیکونی اعمال گردید. ارزیابی ساختاری پوشش با استفاده از آنالیز پراشسنجی پرتوایکس و طیفسنجی رامان صورت گرفت. به منظور تعیین ضریب شکست لایه نازک کربن شبه الماسی روش بیضیسنجی مورد استفاده قرار گرفت. طیف بازتاب نمونهها با استفاده از دستگاهUV-Vis-NIR recording spectrophotometer و همچنین برای اندازهگیری طیف عبور از روش طیفسنجی تبدیل فوریه مادونقرمز استفاده شد. تست سایش ملایم و شدید نیز با هدف بررسی مقاومت سایشی پوشش صورت گرفت. نتایج نشان داد با اعمال لایه نازک کربن شبه الماسی میزان عبور بسترههای سیلیکونی افزایش یافته است. همچنین نتایج تست سایش نشان داد کربن شبه الماسی با ضخامتnm 540 در برابر سایش ملایم و شدید مقاوم بوده و عبور نمونهها در اثر سایش کاهش نیافته استکلیدواژه ها
پنجره مادونقرمز, خواص اپتیکی, کربن شبه الماسی, لایه نازکاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.