ساخت حسگر گاز مبتنی بر ساختار فلز- عایق- فلز

سال انتشار: 1399
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 229

فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ECICONFE05_038

تاریخ نمایه سازی: 6 اسفند 1399

چکیده مقاله:

یکی از ساختارهایی که امروزه جهت ساخت حسگرگاز مورد استفاده قرار میگیرد ساختار خازنی فلز-عایق- فلز (MIM1) میباشد. بر همین مبنا، روشهای تولید نانوساختارهای خود نظمیافته با آرایه ی متناوب، مورد توجه قرار گرفته اند. یکی از روشها، فرایند آندایز میباشد که این فرایند منجر به تشکیل لایه اکسید متخلخل آرایه ی منظمی از نانوحفره ها می گردد. در این روش لایه زیرین فلزآلومینیوم و سطح روی آن آلومینا به عنوان عایق و سطح روی آن با استفاده از خمیرگرافیت یا چسب نقره، فلز درنظر گرفته شده است. در مرحله ای دیگر با استفاده از روش drop cast و با استفاده از پودرآلومینا به نسبت مناسب بر روی سطح آلومینیوم لایه ی عایق ایجاد میشود که به همین منظور از خاصیت خازنی آن نیز در تست گاز استفاده شده است.که خاصیت خازنی آن با استفاده از یک مدار نوسانساز اندازه گیری میشود.

کلیدواژه ها:

حسگر- آندایز- -MIM دیالکتریک- آلومینا