ساخت نانوژنراتور کامپوزیت پیزوالکتریک مبتنی بر نانوملیه های اکسید روی رشد یافته بر روی میکروآرایه های سیلیکان

  • سال انتشار: 1399
  • محل انتشار: کنفرانس ملی مهندسی شیمی و نانو فناوری
  • کد COI اختصاصی: CHNANO01_045
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 268
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

امیر قاسمی کردلر

دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو

جواد کوهسرخی

دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو

حامد کاوند

دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو

چکیده

امروزه در سیستم های میکروالکترومکانیک نانومیله های پیزوالکتریک به دلیل انعطاف پذیری بالا، وزن کم و اندازه کوچک، یک محدوده برداشت انرژی هیجان انگیز را از طریق ارتعاشات مکانیکی ارائه می دهند که در این بین، نانومیله های اکسید روی (ZnO NRs) یکی از پر کاربردترین مواد در ساخت دستگاه های برداشت انرژی است. در این مقاله، دو نانو ژنراتور (NG) هیبریدی مبتنی بر فیلم کامپوزیت ZnO NRs / PDMS بر روی میکرواینتردیجیت های سیلیکانی و سطح صاف ساخته شده است. در ابتدا بر روی ویفر سیلیکانی میکرودیجیت هایی به ارتفاع 20 میکرومتر که اندازه پهنا و فاصله بین آن ها 30 میکرومتر است، ایجاد شد. رشد Zno NRs شامل یک مرحله هیدروترمال در حضور پیلمر PEI، جهت کاهش قطر نانو میله ها است. ولتاژ خروجی NG ولتاژ پیک تا پیک خروجی بدست آمده در حالت سطح صاف 57.6 میلی ولت در طرح دار سیلیکانی 336 میلی ولت که منجر به افزایش 580% ولتاژ خروجی می شود.

کلیدواژه ها

؛ PENG ،Zno VNRs، میکروآرایه های سیلیکانی، هیدروترمال

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.