رشد نانومیله های اکسدی روی بر روی میکروساختارهای دوار و هم مرکز سیلیکانی برای ستاخت نانوژنراتورها

سال انتشار: 1399
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 205

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

CHNANO01_044

تاریخ نمایه سازی: 2 اسفند 1399

چکیده مقاله:

خواص الکتریکی مواد پیزوالکتریک به منظور برداشت انرژی یکی از موضوعاتی است که در دهه ی اخیر مورد توجه بسیاری از محققین قرار گرفته است که در بین آن ها اکسید روی (Zno) جزء مهمترین و پرکاربردترین مواد پیزوالکتریکی محسوب می شود. در این مقاله، جهت افزایش سطح، نانومیله های اکسید روی (Zno NRs) را بر روی دوایر میکروآرایه های سیلیکانی به روش هیدروترمال که اولین مرحله از ساخت رشد نانوژنراتور مبتنی بر این ماده است، ساخته می شود. ساخت قطعه شامل 2 مرحه است. مرحله اول ایجاد میکرو دوایر سیلیکانی مبتنی بر روش های: لایه نشانی کروم، لیتوگرافی و زایش عمودی با یون های فعال (DRIE) و مرحله دوم رشد نانو میله های اکسید روی بر روی میکروآرایه های سیلیکانی به روش هیدروترمال و همچنین برای کاهش قطر نانومیله ها از 218 به 76 نانومتر فرایند رشد در حضور پلیمر PEI، بررسی شد.

نویسندگان

امیر قاسمی کردلر

دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو

جواد کوهسرخی

دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو

حامد کاوند

دانشگاه تهران، علوم و فنون نوین، آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرونانو