بررسی ویژگی های ساختاری و الکتریکی لایه های نازک مس انباشت شده به روش کندوپاش مغناطیسی
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: اولین همایش ملی مس
- کد COI اختصاصی: COPPER01_091
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2014
نویسندگان
کارشناس ارشد فیزیک اتمی مولکولی، دانشگاه اراک
دکترای فیزیک ،دانشگاه اراک ، آزمایشگاه فنون نانو و لایه نشانی
کارشناس ارشد فیزیک اتمی مولکولی، دانشگاه اراک
چکیده
در این تحقیق با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسیDCلایه های نازک مس با ضخامتnm25-300 بر روی شیشه برای استفاده در اتصالات بینابینی در صنایع مختلف در دماهای زیرلایه و بازپخت مختلف ، انباشت شدند . تأثیر دمای زیرلایه 300-500K) در هنگام لایه نشانی و نیز افزایش دمای بازپخت در خلأ ، بر رشد نانو ذرات مس بررسی شد . خواص ساختاری لایه های مس توسط آنالیزهای AFM و XRD مورد بررسی قرار گرفت. ویژگی های الکتریکی نمونه ها نیز توسط روش چهارسوزنه مورد مطالعه قرار گرفت. سطح لایه های مس در اثر تغییرات دما ، یکنواختی و پیوستگی خود را حفظ کردند و در محدوده دمایی مذکور از پایداری نسبتأ خوبی برخوردار بودند.مقاومت الکتریکی لایه ها در اثر افزایش دما و ضخامت کاهش یافتکلیدواژه ها
لایه های نازک مس، دمای انباشت، دمای بازپخت، مقاومت الکتریکی، زبری و مورفولوژیمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.