ابراهیم بحرودی - تهران،اوین دانشگاه شهید بهشتی،پژوهشکده لیزر و پلاسما
علی موسویان - تهران،اوین دانشگاه شهید بهشتی،پژوهشکده لیزر و پلاسما
حمید لطیفی - تهران،اوین دانشگاه شهید بهشتی،پژوهشکده لیزر و پلاسما

دراین مقاله یک سیستم خودکانونی شونده لیزری مورد بررسی قرارگرفته شدها ست این سیستم برپایه ساختار میکروسکوپ لیزری هم کانونی طراحی شده و توسط نرم افزار اپتیکی Zemax شبیه سازی شده است سپس چیدمان ازمایش برپایه شبیه سازی انجام شده قرار می گیرد و در نهایت اعتبار و عملکرد سیستم بررسی می شود به کمک این سیستم فاصلهعمودی بین سطح یک نمونه متحرک نسبت به نقطه مرجع ثابت با دقت نزدیک به 4mm کنترل شد.

میکروسکوپ هم کانونی لیزری، سیستم خودکانونی شونده، شبیه سازی