تخمین تنش پسماند در لایه نازک آهن خالص به روش پراش پرتو X

تنش پسماند یکی از مباحث جذاب و در عین حال پیچیده در گستره ی مهندسی مواد محسوب می گردد. غالب تکنیک هایی کهبرای اندازه گیری تنش پسماند استفاده می شوند، به صورت غیر مستقیم و با استفاده از اندازه گیری کرنش، با پیش فرض مشخصبودن ثوابت الاستیک ماده و استفاده از محاسبات ریاضی، مقدار تنش پسماند را بدست می آورند. در این پژوهش با استفاده ازروش کندوپاش یونی، لایه نازکی از ساختار تک فاز آهن خالص با ضخامت تقریبی 100 نانومتر بر روی یکزیر لایه سیلیسیمی تککریستال <100> Si ایجاد گردید. به منظور اندازه گیری تنش پسماند در این پوشش، از روش پراش پراش سنجی سه محوره (Ψ و θ و Ф) اشعه ایکس استفاده شد. نتایج حاصل از پراش سنجی در زوایه های مختلف Ψ به کمک نرم افزار X pert مورد تحلیل قرار گرفتو نشان داد که مقدار تنش پسماند در این پوشش در حدود 302 - (علامت منفی به معنی فشاری بودن است) مگاپاسکال می باشد، که به دلیل فشاری بودن آن باعث بهبود رفتار خستگی، مکانیکی و .... آن خواهد بود.

کلیدواژه ها:

تنش پسماند ، آهن خالص ، اشعه ایکس ، کندوپاش یونی ، لایه نازک