مطالعه عوامل موثر بر عملکرد رزوناتور میکروتیر

مشخصه های خروجی رزوناتور میکروالکترومکانیکی (MEMS) به پارامترهایی از قبیل نوع تحریک، ساختار، ابعاد و مواد به کار رفته بستگی دارد. در این مقاله عملکرد رزوناتور میکروتیر (مدل الکترو استاتیک) تشریح شده است و تاثیر پارامترهای مختلف بر ضریب کیفیت و فرکانس رزونانس به روش تحلیلی و شبیه سازی نشان داده و مقایسه شده اند.با استفاده از این نتایج میتوان پارامترهای بهینه برای دست یافتن به ضریب کیفیت بالاتر در فرکانس مورد نظر را پیدا کرد.

کلیدواژه ها:

میکروالکترومکانیک(MEMS) ، رزوناتور میکروتیر ، ضریب کیفیت ، فرکانس رزونانس