طراحی تحلیل وشبیه سازی یک میکروسنسورخازنی شیب

دراین مقاله یک ساختارجدید برای سنسورشیب مبتنی برتکنولوژی MEMS ارایه شده است عملکرداین میکرو سنسورخازنی شیب به شکل تحلیلی مورد بررسی قرارگرفته و معادلات حاکم برتغییرات ظرفیت خازن ها دراثرشیب و حساسیت استخراج شده اند این سنسور ازخازنهایی متغیر با شیب تشکیل شده که حرکت صفحه فلزی مشترک درآنها دراثرشیب باعث تغییرات میشود این سنسور باساختاراستوانه ای امکان دستیابی به رابطه خطی بین تغییرات زاویه و خازن را فراهم کرده و سنجش شیب را امکان پذیر مینماید خروجی خطی درتمامی رنج دینامیکی ازمهمترین ویژگیهای این سنسور است که بااستفاده ازتحلیل ها و نرم افزار Matlab نشان داده شده است ازدیگرویژگیهای این سنسور اندازه گیری تغییرات شیب به کمک مایعات است که میتوان گفت درمحدوده بهترین نوع سنسورهای شیب جای دارد زیرا سنسورهای شیب مایع بدلیل هزینه پایین درمقابل عملکرد خوب بیشترین بازار را به خود اختصاص داده اند میکروسنسورپیشنهادی تک محوره بوده و رنج اندازه گیری آن دربازه 0تا360درجه و به شکل خطی بوده بعلاوه ازحساسیت خوبی برخوردار است

کلیدواژه ها:

سنسورشیب ، میکروسنسورشیب خازنی ، MEMS ، Tilt sensor