لایه نشانی لایه هادی وشفاف آمورف Zn-In-Sn-O برروی بسترشیشه بااستفاده ازروش RF magnetron sputtering
محل انتشار: سومین همایش سراسری کاربردهای دفاعی علوم نانو
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 591
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
BSNANO03_201
تاریخ نمایه سازی: 9 بهمن 1392
چکیده مقاله:
لایه های آمورف(ZITO) Zn-In-Sn-O برروی زیرلایه PET با استفاده ازروش RF magnetron sputtering لایه نشانی شد کمترین مقاومت صفحه بدست امده برای 17 /sq ,ZITO و شفافیت آن به مراتب بیشتر ازITO بود لایه های ZITO کاملا امورف بودند وزبری سطح آنها نسبت به ITO بسیارکمتر بود اندازه قطرسطح ذرات درZITO درحدو 20nm و درITO درحدود 79nm بدست امد
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حسین امانی داز
دانشگاه صنعتی مالک اشترایران تهران
عباس عبدالملکی
دانشگاه صنعتی مالک اشترتهران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :