بررسی نتایج تجربی و چالش های روش کالیبراسیون فیزیکیضخامت سنج دستگاه اسپاترینگ برای لایه نازک کادمیوم سولفاید

با توجه به تاثیر ضخامت و یکنواختی بر مشخصات ساختاری، الکتریکی و اپتیکی لایه ها به خصوص کادمیوم سولفاید، کنترل صحت ضخامت لایه در حین و پایان لایه نشانی بسیار حائز اهمیت می باشد. این امر توسط مجموعه ضخامت سنج دستگاه ها صورت می پذیرید. اما از آن جا که ضخامت نمایش داده شده با ضخامتی که مورد نظر کاربر است متفاوت است فرایند کالیبراسیون ضخامت سنج دستگاه اسپاترینگ RF مدل MSS2-160 به صورت تجربی و با لایه نشانی بر روی زیرلایه های غیر منعطف انجام شد. جنس لایه، ضخامت بهینه در کاربرد نهایی لایه مورد نظر، و نیز تکنولوژی دستگاه های با قابلیت اندازه گیری ضخامت از جمله پروفایلمتر و الیپسومتر، موجب گردید زیرلایه ا به ترتیب از جنس شیشه لام آزمایشگاه ویفرسیلیکون انتخاب شدند. نتایج فرایندهای فوق با ضخامت های مختلف نشان داد، جهت تطابق با رزولوشن و دقت دستگاه های اندازه گیری، ضخامت مناسب لایه برای کالیبراسیون ضخامت سنج و قبل از تعیین میزان ضریب تولینگ می بایست حداقل 100nm بوده و میزان ضریب تولینگ در صورت قرارگیری ضخامت سنج پایین تر از سطح زیر لایه از ابتدا 05 درصد تعیین گردید.

کلیدواژه ها:

کالیبراسیون ضخامت سنج ، روش ضخامت سنجی لایه ای نانومتری ، کنترل نرخ لایه نشانی ، Thickness monitor